Silan (SiH4)

Tehnični parametri

Silan je spojina silicija in vodika. To je splošen izraz za vrsto spojin, vključno z monosilanom (SiH4), disilanom (Si2H6) in nekaterimi silicijevimi vodikovimi spojinami na višji ravni. Med njimi je najpogostejši monosilan, včasih na kratko imenovan silan. Silan je brezbarven plin z odvratnim vonjem po česnu. Topen v vodi, skoraj netopen v etanolu, etru, benzenu, kloroformu, silicijevem kloroformu in silicijevem tetrakloridu. Kemične lastnosti silanov so veliko bolj aktivne kot alkani in se zlahka oksidirajo. Pri stiku z zrakom lahko pride do samovžiga. Ne reagira z dušikom pod 25 °C in ne reagira z ogljikovodikovimi spojinami pri sobni temperaturi. Požar in eksplozija silana sta posledica reakcije s kisikom. Silan je izjemno občutljiv na kisik in zrak. Silan z določeno koncentracijo bo eksplozivno reagiral tudi s kisikom pri temperaturi -180°C. Silan je postal najpomembnejši posebni plin, ki se uporablja v procesih polprevodniške mikroelektronike in se uporablja pri pripravi različnih mikroelektronskih filmov, vključno z monokristalnimi filmi, mikrokristalnimi, polikristalnimi, silicijevim oksidom, silicijevim nitridom in kovinskimi silicidi. Mikroelektronske aplikacije silana se še vedno poglobljeno razvijajo: nizkotemperaturna epitaksija, selektivna epitaksija in heteroepitaksialna epitaksija. Ne le za silicijeve naprave in silicijeva integrirana vezja, ampak tudi za sestavljene polprevodniške naprave (galijev arzenid, silicijev karbid itd.). Uporablja se tudi pri pripravi materialov supermrežnih kvantnih vrtin. Lahko rečemo, da se silan v sodobnem času uporablja v skoraj vseh naprednih linijah za proizvodnjo integriranih vezij. Uporaba silana kot filma in prevleke, ki vsebuje silicij, se je razširila iz tradicionalne mikroelektronske industrije na različna področja, kot so jeklo, stroji, kemikalije in optika. Druga možna uporaba silana je izdelava visoko zmogljivih keramičnih delov motorja, zlasti uporaba silana za proizvodnjo silicidne (Si3N4, SiC itd.) tehnologije mikropraškov je pritegnila vse več pozornosti.

Uporaba:

①Elektronsko:

Silan se nanaša na plasti polikristalnega silicija na silicijevih rezinah pri izdelavi polprevodnikov in tesnil.

②Solar:

Silan se uporablja pri izdelavi solarnih fotovoltaičnih modulov.

③Industrijsko:

Uporablja se v energijsko varčnem zelenem steklu in za postopek tankoslojnega nanašanja s paro.

Običajni paket:

Prednost:

①Več kot deset let na trgu;

②Proizvajalec certifikata ISO;

③Hitra dostava;

④Stabilen vir surovin;

⑤Sistem za spletno analizo za nadzor kakovosti v vsakem koraku;

⑥Visoke zahteve in natančen postopek za ravnanje z jeklenko pred polnjenjem;

⑦Čistost: elektronska stopnja visoke čistosti;

⑧Uporaba: materiali za sončne celice; izdelava polisilicija visoke čistosti, silicijevega oksida in optičnih vlaken; proizvodnja barvnega stekla.