Kaj jeogljikov tetrafluorid? Kakšna je uporaba?
Ogljikov tetrafluorid, znan tudi kot tetrafluorometan, velja za anorgansko spojino. Uporablja se v procesu jedkanja v plazmi različnih integriranih vezij in se uporablja tudi kot laserski plin in hladilno sredstvo. Pod normalno temperaturo in tlakom je razmeroma stabilen, vendar se je treba izogniti stiku z močnimi oksidanti, vnetljivimi ali vnetljivimi materiali. Ogljikov tetrafluorid je neobvladljiv plin. Če naleti na visoko toploto, bo to povzročil notranji tlak vsebnika in obstaja nevarnost razpokanja in eksplozije. Običajno lahko pri sobni temperaturi deluje samo s tekočim amoniakom-natrijevim kovinskim reagentom.
Ogljikov tetrafluoridje trenutno največji plazemski jedkanica, ki se uporablja v industriji mikroelektronike. Lahko se široko uporablja pri jedkanju silicijevega, silicijevega dioksida, fosfosilikatnega stekla in drugih materialov s tankimi filmskimi materiali, čiščenju površine elektronskih naprav, proizvodnji sončnih celic, laserski tehnologiji, izolaciji plinske faze, nizko temperaturnih hladilnikih, sredstvih za odkrivanje puščanja in odmerki v tiskani proizvodnji.
Čas objave: november-01-2021
