Kaj jeogljikov tetrafluorid? Kakšna je uporaba?
Ogljikov tetrafluorid, znan tudi kot tetrafluorometan, velja za anorgansko spojino. Uporablja se v postopku plazemskega jedkanja različnih integriranih vezij, uporablja pa se tudi kot laserski plin in hladilno sredstvo. Je razmeroma stabilen pri normalni temperaturi in tlaku, vendar se je treba izogibati stiku z močnimi oksidanti, vnetljivimi ali gorljivimi materiali. Ogljikov tetrafluorid je negorljiv plin. Če naleti na visoko vročino, bo povzročilo povečanje notranjega tlaka posode in obstaja nevarnost pokanja in eksplozije. Običajno lahko medsebojno deluje le s tekočim kovinskim reagentom amoniak-natrij pri sobni temperaturi.
Ogljikov tetrafluoridje trenutno največji plin za plazemsko jedkanje, ki se uporablja v mikroelektronski industriji. Lahko se široko uporablja pri jedkanju silicija, silicijevega dioksida, fosfosilikatnega stekla in drugih tankoslojnih materialov, čiščenju površine elektronskih naprav, proizvodnji sončnih celic, laserski tehnologiji, izolaciji plinske faze, nizkotemperaturnem hlajenju, sredstvih za odkrivanje puščanja, in detergenti v proizvodnji tiskanih vezij imajo veliko število uporab.
Čas objave: Nov-01-2021
