Elektronskoposebni pliniSo pomembna veja posebnih plinov. Prodirajo v skoraj vse člene proizvodnje polprevodnikov in so nepogrešljive surovine za proizvodnjo elektronske industrije, kot so ultra velika integrirana vezja, ploščati zasloni in sončne celice.

V polprevodniški tehnologiji se plini, ki vsebujejo fluor, pogosto uporabljajo. Trenutno na svetovnem trgu elektronskih plinov predstavljajo fluorirani elektronski plini približno 30 % celotne količine. Elektronski plini, ki vsebujejo fluor, so pomembna sestavina posebnih elektronskih plinov na področju elektronskih informacijskih materialov. Uporabljajo se predvsem kot čistila in jedkalna sredstva, lahko pa se uporabljajo tudi kot dopanti, materiali za tvorbo filmov itd. V tem članku vas bo avtor seznanil z običajnimi plini, ki vsebujejo fluor.

Naslednji plini, ki vsebujejo fluor, se pogosto uporabljajo

Dušikov trifluorid (NF3): Plin, ki se uporablja za čiščenje in odstranjevanje usedlin, običajno za čiščenje reakcijskih komor in površin opreme.

Žveplov heksafluorid (SF6)Fluorirajoče sredstvo, ki se uporablja v postopkih nanašanja oksidov in kot izolacijski plin za polnjenje izolacijskih medijev.

Vodikov fluorid (HF): Uporablja se za odstranjevanje oksidov s površine silicija in kot jedkalno sredstvo za jedkanje silicija in drugih materialov.

Dušikov fluorid (NF): Uporablja se za jedkanje materialov, kot sta silicijev nitrid (SiN) in aluminijev nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) intetrafluorometan (CF4)Uporablja se za jedkanje fluoridnih materialov, kot sta silicijev fluorid in aluminijev fluorid.

Vendar pa imajo plini, ki vsebujejo fluor, določene nevarnosti, vključno s strupenostjo, korozivnostjo in vnetljivostjo.

Toksičnost

Nekateri plini, ki vsebujejo fluor, so strupeni, na primer vodikov fluorid (HF), katerega hlapi zelo dražijo kožo in dihala ter so škodljivi za zdravje ljudi.

Korozivnost

Vodikov fluorid in nekateri fluoridi so zelo jedki in lahko povzročijo resne poškodbe kože, oči in dihal.

Vnetljivost

Nekateri fluoridi so vnetljivi in ​​reagirajo s kisikom ali vodo v zraku, pri čemer sproščajo močno toploto in strupene pline, kar lahko povzroči požar ali eksplozijo.

Nevarnost visokega tlaka

Nekateri fluorirani plini so eksplozivni pod visokim tlakom in zahtevajo posebno previdnost pri uporabi in skladiščenju.

Vpliv na okolje

Plini, ki vsebujejo fluor, imajo visoke atmosferske življenjske dobe in vrednosti GWP, kar uničujoče vpliva na ozonsko plast atmosfere in lahko povzroči globalno segrevanje in onesnaževanje okolja.

Uporaba plinov na novih področjih, kot je elektronika, se še naprej poglablja, kar prinaša veliko novo povpraševanje po industrijskih plinih. Glede na veliko količino novih proizvodnih zmogljivosti večjih elektronskih komponent, kot so polprevodniki in zasloni, na celinski Kitajski v naslednjih nekaj letih, pa tudi zaradi velikega povpraševanja po nadomeščanju uvoza elektronskih kemičnih materialov, bo domača industrija elektronskih plinov dosegla visoko stopnjo rasti.