Elektronskiposebni pliniso pomembna veja posebnih plinov. Prodirajo v skoraj vse člene proizvodnje polprevodnikov in so nepogrešljive surovine za proizvodnjo elektronskih industrij, kot so ultra velika integrirana vezja, ploščati zasloni in sončne celice.

V tehnologiji polprevodnikov se široko uporabljajo plini, ki vsebujejo fluor. Trenutno na svetovnem trgu elektronskih plinov elektronski plini, ki vsebujejo fluor, predstavljajo približno 30 % celotne količine. Elektronski plini, ki vsebujejo fluor, so pomembna sestavina posebnih elektronskih plinov na področju elektronskih informacijskih gradiv. Uporabljajo se predvsem kot čistilna sredstva in sredstva za jedkanje, uporabljajo pa se lahko tudi kot dodatki, materiali za tvorbo filma itd. V tem članku vas bo avtor popeljal do razumevanja običajnih plinov, ki vsebujejo fluor.

Spodaj so običajno uporabljeni plini, ki vsebujejo fluor

Dušikov trifluorid (NF3): plin, ki se uporablja za čiščenje in odstranjevanje usedlin, običajno za čiščenje reakcijskih komor in površin opreme.

Žveplov heksafluorid (SF6): Sredstvo za fluoriranje, ki se uporablja v postopkih nanašanja oksidov in kot izolacijski plin za polnjenje izolacijskih medijev.

Vodikov fluorid (HF): Uporablja se za odstranjevanje oksidov s površine silicija in kot jedkalo za jedkanje silicija in drugih materialov.

Dušikov fluorid (NF): Uporablja se za jedkanje materialov, kot sta silicijev nitrid (SiN) in aluminijev nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) intetrafluorometan (CF4): Uporablja se za jedkanje fluoridnih materialov, kot sta silicijev fluorid in aluminijev fluorid.

Vendar imajo plini, ki vsebujejo fluor, določene nevarnosti, vključno s strupenostjo, jedkostjo in vnetljivostjo.

Toksičnost

Nekateri plini, ki vsebujejo fluor, so strupeni, na primer vodikov fluorid (HF), katerega hlapi močno dražijo kožo in dihala ter škodujejo zdravju ljudi.

Jedkost

Vodikov fluorid in nekateri fluoridi so zelo jedki in lahko povzročijo resne poškodbe kože, oči in dihalnih poti.

Vnetljivost

Nekateri fluoridi so vnetljivi in ​​reagirajo s kisikom ali vodo v zraku ter sproščajo močno toploto in strupene pline, ki lahko povzročijo požar ali eksplozijo.

Nevarnost zaradi visokega tlaka

Nekateri fluorirani plini so pod visokim pritiskom eksplozivni in zahtevajo posebno previdnost pri uporabi in skladiščenju.

Vpliv na okolje

Plini, ki vsebujejo fluor, imajo visoko življenjsko dobo v atmosferi in vrednosti GWP, ki imajo uničujoč učinek na atmosferski ozonski plašč in lahko povzročijo globalno segrevanje in onesnaževanje okolja.

Uporaba plinov na nastajajočih področjih, kot je elektronika, se še naprej poglablja, kar prinaša veliko novega povpraševanja po industrijskih plinih. Na podlagi velike količine novih proizvodnih zmogljivosti večjih elektronskih komponent, kot so polprevodniki in prikazovalne plošče, v celinski Kitajski v naslednjih nekaj letih, pa tudi velikega povpraševanja po nadomeščanju uvoza elektronskih kemičnih materialov bo domača elektronska plinska industrija začela visoka stopnja rasti.