Elektronskoposebni pliniso pomembna veja posebnih plinov. Prodrejo skoraj vsako povezavo proizvodnje polprevodnikov in so nepogrešljive surovine za proizvodnjo elektronskih industrij, kot so integrirani vezji, ki so ultra velike lestvice, naprave z ravnimi ploščami in sončne celice.

V tehnologiji polprevodnikov se pogosto uporabljajo plini, ki vsebujejo fluor. Trenutno na svetovnem trgu elektronskih plinov elektronski plini, ki vsebujejo fluor, predstavljajo približno 30% vseh. Elektronski plini, ki vsebujejo fluor, so pomemben sestavni del posebnih elektronskih plinov na področju elektronskih informacijskih materialov. Uporabljajo se predvsem kot čistilna sredstva in sredstva za jedkanje, poleg tega pa se lahko uporabljajo tudi kot dopants, materiali, ki tvorijo film itd. V tem članku vas bo avtor popeljal za razumevanje skupnih plinov, ki vsebujejo fluor.

Naslednje se običajno uporabljajo plini, ki vsebujejo fluor

Dušikov trifluorid (NF3): plin, ki se uporablja za čiščenje in odstranjevanje nahajališč, ki se običajno uporablja za čiščenje reakcijskih komor in površin opreme.

Žveplov heksafluorid (SF6): Fluorirajoči sredstvo, ki se uporablja v procesih odlaganja oksida in kot izolacijski plin za polnjenje izolacijskih medijev.

Vodikov fluorid (HF): Uporablja se za odstranjevanje oksidov s površine silicija in kot jedkanica za jedkanje silicija in drugih materialov.

Dušikov fluorid (NF): Uporablja se za jedkane materiale, kot sta silicijev nitrid (sin) in aluminijev nitrid (ALN).

Trifluorometan (CHF3) intetrafluorometan (CF4): Uporablja se za ježenje fluoridnih materialov, kot sta silicijev fluorid in aluminijev fluorid.

Vendar imajo plini, ki vsebujejo fluor, določene nevarnosti, vključno s toksičnostjo, jedkostjo in vnetljivostjo.

Strupenost

Nekateri plini, ki vsebujejo fluor, so strupeni, kot je vodikov fluorid (HF), katerih hlapi zelo dražijo na koži in dihali in škodljivi za zdravje ljudi.

Korozivnost

Vodikov fluorid in nekateri fluoridi so zelo korozivni in lahko povzročijo resne poškodbe kože, oči in dihal.

Vnetljivost

Nekateri fluoridi so vnetljivi in ​​reagirajo s kisikom ali vodo v zraku, da sprostijo intenzivne toplote in strupene pline, kar lahko povzroči požar ali eksplozijo.

Visokotlačna nevarnost

Nekateri fluorirani plini so pod visokim pritiskom eksplozivni in pri uporabi in shranjevanju potrebujejo posebno nego.

Vpliv na okolje

Plini, ki vsebujejo fluor, imajo visoke atmosferske življenjske dobe in vrednosti GWP, ki imajo uničujoč učinek na atmosfersko ozonsko plast in lahko povzročijo globalno segrevanje in onesnaževanje okolja.

Uporaba plinov na nastajajočih poljih, kot je elektronika, se še naprej poglablja, kar prinaša veliko količino novega povpraševanja po industrijskih plinih. Na podlagi velike količine novih proizvodnih zmogljivosti večjih elektronskih komponent, kot so polprevodniki in razstavne plošče na celinski Kitajski v naslednjih nekaj letih, pa tudi močno povpraševanje po uvozu nadomestitve elektronskih kemičnih materialov, bo domača elektronska plinska industrija povečala visoko stopnjo rasti.