Vloga žveplovega heksafluorida pri jedkanju silicijevega nitrida

Žveplov heksafluorid je plin z odličnimi izolacijskimi lastnostmi in se pogosto uporablja pri visokonapetostnem gašenju obloka in transformatorjih, visokonapetostnih daljnovodih, transformatorjih itd. Poleg teh funkcij pa se lahko žveplov heksafluorid uporablja tudi kot elektronsko jedkalo .Žveplov heksafluorid visoke čistosti elektronskega razreda je idealno elektronsko jedkalo, ki se pogosto uporablja na področju tehnologije mikroelektronike.Danes bo urednik posebnega plina Niu Ruide Yueyue predstavil uporabo žveplovega heksafluorida pri jedkanju silicijevega nitrida in vpliv različnih parametrov.

Razpravljamo o postopku plazemskega jedkanja SiNx s SF6, vključno s spreminjanjem moči plazme, razmerja med plinom SF6/He in dodajanjem kationskega plina O2, razpravljamo o njegovem vplivu na hitrost jedkanja zaščitne plasti elementa SiNx na TFT in uporabi plazemskega sevanja. spektrometer analizira spremembe koncentracije vsake vrste v plazmi SF6/He, SF6/He/O2 in stopnjo disociacije SF6 ter raziskuje razmerje med spremembo hitrosti jedkanja SiNx in koncentracijo vrst v plazmi.

Študije so pokazale, da ko se moč plazme poveča, se hitrost jedkanja poveča;če se stopnja pretoka SF6 v plazmi poveča, se poveča koncentracija atomov F in je v pozitivni korelaciji s hitrostjo jedkanja.Poleg tega bo po dodajanju kationskega plina O2 pri fiksni skupni stopnji pretoka učinek povečanja stopnje jedkanja, vendar bodo pri različnih pretočnih razmerjih O2/SF6 različni reakcijski mehanizmi, ki jih lahko razdelimo na tri dele : (1 ) Razmerje pretoka O2/SF6 je zelo majhno, O2 lahko pomaga pri disociaciji SF6, hitrost jedkanja pa je v tem času večja kot takrat, ko O2 ni dodan.(2) Ko je razmerje pretoka O2/SF6 večje od 0,2 do intervala, ki se približuje 1, je v tem času zaradi velike količine disociacije SF6, da se tvorijo atomi F, hitrost jedkanja najvišja;hkrati pa se povečujejo tudi atomi O v plazmi in SiOx ali SiNxO(yx) je enostavno oblikovati s površino filma SiNx, in bolj ko se poveča število atomov O, težje bodo atomi F za reakcija jedkanja.Zato se stopnja jedkanja začne upočasnjevati, ko je razmerje O2/SF6 blizu 1. (3) Ko je razmerje O2/SF6 večje od 1, se hitrost jedkanja zmanjša.Zaradi velikega povečanja O2 disociirani atomi F trčijo z O2 in tvorijo OF, kar zmanjša koncentracijo atomov F, kar povzroči zmanjšanje hitrosti jedkanja.Iz tega je razvidno, da je ob dodajanju O2 pretočno razmerje O2/SF6 med 0,2 in 0,8 in je mogoče doseči najboljšo stopnjo jedkanja.