Žveplov heksafluorid je plin z odličnimi izolacijskimi lastnostmi in se pogosto uporablja pri visokonapetostnih ločnih gasiščih in transformatorjih, visokonapetostnih daljnovodih, transformatorjih itd. Vendar pa lahko poleg teh funkcij žveplov heksafluorid uporabimo tudi kot elektronsko etchant. Elektronski žveplovi heksuafluorid z visoko čistočo je idealna elektronska jedkanica, ki se pogosto uporablja na področju mikroelektronske tehnologije. Danes bo Niu Ruide posebni urednik plina Yueyue predstavil uporabo žveplovega heksafluorida pri jedkanju silicijevega nitrida in vpliv različnih parametrov.
Razpravljamo o postopku SF6 v jedkanju v plazmi, vključno s spreminjanjem moči v plazmi, razmerju plina SF6/He in dodajanju kationskega plina O2, ki razpravlja o njenem vplivu na hitrost jedkanice zaščitne plasti TFT Element TFT, in z uporabo plazemskega sevanja analizira, da SF6/O2 Plas6/OS Sf6/OS Sf6/On Sf6/On Sf6/On St Sf6/HIS SF6/OG SI, SF6/OS ST6 hitrost in raziskuje razmerje med spremembo hitrosti jedkanja SINX in koncentracijo vrst v plazmi.
Študije so pokazale, da se ob povečanju plazemske moči poveča stopnja jedkanja; Če se hitrost pretoka SF6 v plazmi poveča, se koncentracija A atoma poveča in je pozitivno povezana s hitrostjo jedkanja. Poleg tega bo po dodajanju kationskega plina O2 pod fiksno skupno hitrostjo pretoka vplival na povečanje hitrosti jedkanja, vendar v različnih razmerjih pretoka O2/SF6 obstajajo različni reakcijski mehanizmi, ki jih lahko razdelimo na tri dele: (1) je, da je stopnja O2/SF6 zelo majhna, kot je O2 zelo majhna. (2) Kadar je razmerje pretoka O2/SF6 večje od 0,2 do intervala, ki se v tem času približa 1, je zaradi velike količine disociacije SF6, da nastane F atome, hitrost jedkanja najvišja; Toda hkrati se atomi O v plazmi povečujejo in s površino filma SINX je enostavno oblikovati siox ali sinxo (yx) in več atomov O se bo težje atomi F za reakcijo jedkanja. Zato se hitrost jedkanja začne upočasniti, ko je razmerje O2/SF6 blizu 1. (3), ko je razmerje O2/SF6 večje od 1, se stopnja jedkanja zmanjša. Zaradi velikega povečanja O2 se disociirani atomi F trčijo v O2 in obliko, ki zmanjšuje koncentracijo atomov F, kar ima za posledico zmanjšanje hitrosti jedkanja. Iz tega je razvidno, da ko dodamo O2, je razmerje pretoka O2/SF6 med 0,2 in 0,8 in da je mogoče dobiti najboljšo hitrost jedkanja.
Čas objave: dec-06-2021
