Skupni posebni elektronski plini, ki vsebujejo fluor, vključujejoŽveplov heksafluorid (SF6), volframovi heksafluorid (WF6),Carbon tetrafluorid (CF4), Trifluorometan (CHF3), dušikov trifluorid (NF3), heksafluoroetan (C2F6) in oktafluoropropan (C3F8).
Z razvojem nanotehnologije in obsežnega razvoja elektronske industrije se bo njegovo povpraševanje iz dneva v dan povečalo. Dušikov trifluorid kot nepogrešljiv in največji uporabljen poseben elektronski plin pri proizvodnji in predelavi plošč in polprevodnikov ima širok tržni prostor.
Kot vrsta posebnega plina, ki vsebuje fluor,dušikov trifluorid (NF3)je elektronski posebni plinski izdelek z največjo tržno zmogljivostjo. Kemično je inerten pri sobni temperaturi, aktivnejši od kisika pri visoki temperaturi, bolj stabilen kot fluor in enostaven za ročaje. Dušikov trifluorid se uporablja predvsem kot plazemsko jedkanico in sredstvo za čiščenje reakcijske komore in je primeren za proizvodna polja polprevodniških čipov, zaslonov z ravnimi ploščami, optična vlakna, fotovoltaične celice itd.
V primerjavi z drugimi elektronskimi plini, ki vsebujejo fluor,dušik trifluoridima prednosti hitre reakcije in visoke učinkovitosti. Zlasti pri jedkanju materialov, ki vsebujejo silikon, kot je silicijev nitrid, ima visoko hitrost jedkanja in selektivnost, na površini jedkanega predmeta pa ne pušča ostankov. Je tudi zelo dobro čistilno sredstvo in nima onesnaženja na površino, kar lahko ustreza potrebam procesa obdelave.
Čas objave: 14. september 20124
