Običajni posebni elektronski plini, ki vsebujejo fluor, vključujejožveplov heksafluorid (SF6), volframov heksafluorid (WF6),ogljikov tetrafluorid (CF4), trifluorometan (CHF3), dušikov trifluorid (NF3), heksafluoroetan (C2F6) in oktafluoropropan (C3F8).
Z razvojem nanotehnologije in obsežnim razvojem elektronske industrije bo povpraševanje po njej iz dneva v dan večje. Dušikov trifluorid kot nepogrešljiv in največkrat uporabljen specialni elektronski plin v proizvodnji in predelavi plošč in polprevodnikov ima širok tržni prostor.
Kot vrsta posebnega plina, ki vsebuje fluor,dušikov trifluorid (NF3)je elektronski posebni plinski izdelek z največjo tržno zmogljivostjo. Je kemično inerten pri sobni temperaturi, bolj aktiven kot kisik pri visoki temperaturi, stabilnejši od fluora in enostaven za uporabo. Dušikov trifluorid se v glavnem uporablja kot plin za plazemsko jedkanje in čistilno sredstvo za reakcijsko komoro ter je primeren za proizvodna področja polprevodniških čipov, ploščatih zaslonov, optičnih vlaken, fotovoltaičnih celic itd.
V primerjavi z drugimi elektronskimi plini, ki vsebujejo fluor,dušikov trifluoridima prednosti hitre reakcije in visoke učinkovitosti. Zlasti pri jedkanju materialov, ki vsebujejo silicij, kot je silicijev nitrid, ima visoko stopnjo jedkanja in selektivnost, pri čemer ne pušča ostankov na površini jedkanega predmeta. Je tudi zelo dobro čistilno sredstvo in ne onesnažuje površine, kar lahko zadosti potrebam procesa predelave.
Čas objave: 14. septembra 2024
