Epitaksialna (rast)Mešani GAs

V polprevodniški industriji se plin uporablja za gojenje enega ali več plasti materiala z odlaganjem kemičnega hlapa na skrbno izbranem substratu se imenuje epitaksialni plin.

Pogosto uporabljeni silicijevi epitaksialni plini vključujejo diklorosilan, silicijev tetraklorid inSilane. V glavnem se uporablja za epitaksialno silicijevo odlaganje, odlaganje filma iz silicijevega oksida, odlaganje silicijevega nitrida, amorfno odlaganje silicijevega filma za sončne celice in druge fotoreceptorje itd. Epitaksija je postopek, v katerem se na površino podlaga in goji en sam kristalni material.

Kemični odlaganje hlapov (CVD) Mešani plin

KVB je metoda odlaganja določenih elementov in spojin s kemičnimi reakcijami plinske faze z uporabo hlapnih spojin, tj. Metoda, ki tvori film z uporabo kemičnih reakcij plinske faze. Glede na vrsto nastalega filma je uporabljen tudi plin za nalaganje kemičnih parnih hlapov (CVD).

DopingMešani plin

Pri izdelavi polprevodniških naprav in integriranih vezij se nekatere nečistoče dopirajo v polprevodniške materiale, da materiali omogočijo potrebno vrsto prevodnosti in določeno upor za izdelavo uporov, PN stičišč, zakopane plasti itd.

V glavnem vključuje arzin, fosfin, fosfor trifluorid, fosfor pentafluorid, arzenski trifluorid, arzenski pentafluorid,boron trifluorid, diborane itd.

Običajno se vir dopinga meša z nosilnim plinom (kot sta argon in dušik) v izvorni omari. Po mešanju se pretok plina neprestano vbrizga v difuzijsko peč in obdaja rezine, odlaga dopante na površini rezin in nato reagira s silicijem, da ustvari dopirane kovine, ki selijo v silicij.

JedkanjePlinska mešanica

Jedkanica je, da se odtrga površinsko površino (kot so kovinski film, film silicijevega oksida itd.) Na substrat brez fotoresističnega zakrivanja, hkrati pa ohrani območje s fotoresističnim zakrivanjem, da bi dobili potreben vzorec slikanja na površini substrata.

Metode jedkanja vključujejo mokro kemično jedkanje in suho kemično jedkanje. Plin, ki se uporablja pri suhem kemičnem jedkanju, se imenuje jedkanica plina.

Jedkanica je ponavadi fluorid plin (halogena), kot jeogljikov tetrafluorid, dušik trifluorid, trifluorometan, heksafluoroetan, perfluoropropan itd.