Uporaba volframovega heksafluorida (WF6)

Tungsten heksafluorid (WF6) se odlaga na površino rezine s postopkom CVD, pri čemer zapolnjuje kovinske jarke medsebojne povezave in tvori kovinsko medsebojno povezovanje med plastmi.

Najprej se pogovorimo o plazmi. Plazma je oblika snovi, sestavljene predvsem iz prostih elektronov in nabitih ionov. V vesolju veliko obstaja in se pogosto šteje za četrto stanje snovi. Imenuje se država v plazmi, imenovana tudi "plazma". Plazma ima visoko električno prevodnost in ima močan učinek spajanja z elektromagnetnim poljem. Je delno ioniziran plin, sestavljen iz elektronov, ionov, prostih radikalov, nevtralnih delcev in fotonov. Sama plazma je električno nevtralna zmes, ki vsebuje fizično in kemično aktivne delce.

Enostavna razlaga je, da bo molekula pod delovanjem visoke energije premagala silo van der Waals, silo kemične vezi in kulombsko silo ter predstavljala obliko nevtralne električne energije kot celote. Hkrati visoko energijo, ki jo prinaša zunanja, premaga zgornje tri sile. Funkcija, elektroni in ioni predstavljajo prosto stanje, ki ga je mogoče umetno uporabljati pod modulacijo magnetnega polja, kot so proces polprevodniškega jedkanja, proces CVD, PVD in IMP.

Kaj je visoka energija? Teoretično se lahko uporabijo tako visoka temperatura kot visokofrekvenčna RF. Na splošno je visoko temperaturo skoraj nemogoče doseči. Ta temperaturna zahteva je previsoka in je lahko blizu sončne temperature. V tem procesu je v bistvu nemogoče doseči. Zato industrija za to običajno uporablja visokofrekvenčni RF. Plazma RF lahko doseže kar 13MHz+.

Tungsten heksafluorid je plazmaiziran pod delovanjem električnega polja, nato pa s hlapi, ki ga ima magnetno polje. W atomi so podobni zimskim gosjem perjem in padejo na tla pod delovanjem gravitacije. Počasi se W atomi odlagajo v skozi luknje in na koncu napolnijo polno skozi luknje, da tvorijo kovinske medsebojne povezave. Ali bodo poleg odlaganja atomov W v skozi luknje tudi odlagali na površino rezine? Ja, vsekakor. Na splošno lahko uporabite postopek W-CMP, ki mu pravimo postopek mehanskega brušenja. Podobno je z uporabo metle za pometanje tal po močnem snegu. Sneg na tleh je pometan, vendar bo sneg v luknji na tleh ostal. Navzdol, približno enako.