Uporaba volframovega heksafluorida (WF6)

Volframov heksafluorid (WF6) se s postopkom CVD nanese na površino rezine, zapolni kovinske medsebojne povezave in oblikuje kovinsko medsebojno povezavo med plastmi.

Najprej se pogovorimo o plazmi. Plazma je oblika snovi, ki je v glavnem sestavljena iz prostih elektronov in nabitih ionov. Obstaja zelo razširjeno v vesolju in se pogosto obravnava kot četrto agregatno stanje. Imenuje se stanje plazme, imenovano tudi "plazma". Plazma ima visoko električno prevodnost in ima močan učinek sklopitve z elektromagnetnim poljem. Je delno ioniziran plin, sestavljen iz elektronov, ionov, prostih radikalov, nevtralnih delcev in fotonov. Sama plazma je električno nevtralna zmes, ki vsebuje fizikalno in kemično aktivne delce.

Enostavna razlaga je, da bo molekula pod delovanjem visoke energije premagala van der Waalsovo silo, silo kemične vezi in Coulombovo silo ter predstavljala obliko nevtralne elektrike kot celote. Hkrati visoka energija, ki jo posreduje zunanjost, premaga zgornje tri sile. Funkcija, elektroni in ioni predstavljajo prosto stanje, ki se lahko umetno uporabi pod modulacijo magnetnega polja, kot je postopek jedkanja polprevodnikov, CVD proces, PVD in IMP proces.

Kaj je visoka energija? Teoretično se lahko uporabljata tako visokotemperaturni kot visokofrekvenčni RF. Na splošno je visoke temperature skoraj nemogoče doseči. Ta temperaturna zahteva je previsoka in je lahko blizu sončne temperature. To je v bistvu nemogoče doseči v procesu. Zato industrija za dosego tega običajno uporablja visokofrekvenčni RF. Plazemski RF lahko doseže do 13MHz+.

Volframov heksafluorid se pod delovanjem električnega polja plazmatizira in nato napari z magnetnim poljem. Atomi W so podobni zimskim gosjim perjem in padejo na tla pod vplivom gravitacije. Počasi se atomi W odložijo v skoznje luknje in končno napolnijo celotne skoznje luknje, da tvorijo kovinske medsebojne povezave. Ali se bodo atomi W poleg odlaganja v skoznje luknje odlagali tudi na površino rezine? Ja, zagotovo. Na splošno lahko za odstranitev uporabite postopek W-CMP, čemur pravimo postopek mehanskega mletja. Podobno je, kot bi z metlo pometali tla po močnem sneženju. Sneg na tleh je zameten, sneg v luknji na tleh pa bo ostal. Spodaj, približno enako.