Volframov heksafluorid (WF6) se s postopkom CVD nanese na površino rezine, pri čemer se zapolnijo kovinski medsebojni kanali in tvori kovinska povezava med plastmi.
Najprej se pogovorimo o plazmi. Plazma je oblika snovi, ki jo sestavljajo predvsem prosti elektroni in nabiti ioni. V vesolju je zelo razširjena in jo pogosto obravnavamo kot četrto agregatno stanje snovi. Imenuje se plazemsko stanje, imenovano tudi "plazma". Plazma ima visoko električno prevodnost in močno veže elektromagnetno polje. Je delno ioniziran plin, sestavljen iz elektronov, ionov, prostih radikalov, nevtralnih delcev in fotonov. Plazma sama je električno nevtralna zmes, ki vsebuje fizikalno in kemično aktivne delce.
Preprosta razlaga je, da pod vplivom visoke energije molekula premaga van der Waalsovo silo, kemijsko vez in Coulombovo silo ter kot celota predstavlja obliko nevtralne elektrike. Hkrati visoka energija, ki jo daje zunanja sila, premaga zgornje tri sile. Funkcija je, da elektroni in ioni predstavljajo prosto stanje, ki ga je mogoče umetno uporabiti z modulacijo magnetnega polja, na primer pri jedkanju polprevodnikov, CVD-postopku, PVD-postopku in IMP-postopku.
Kaj je visoka energija? Teoretično se lahko uporabljata tako visokotemperaturna kot visokofrekvenčna radiofrekvenčna sevanja. Na splošno je visoke temperature skoraj nemogoče doseči. Ta temperaturna zahteva je previsoka in je lahko blizu sončni temperaturi. V tem procesu je praktično nemogoče doseči. Zato industrija za doseganje te temperature običajno uporablja visokofrekvenčna radiofrekvenčna sevanja. Plazemska radiofrekvenčna sevanja lahko dosežejo frekvence do 13 MHz+.
Volframov heksafluorid se pod vplivom električnega polja plazmizira, nato pa se magnetno polje napari. Atomi W so podobni zimskemu gosjemu perju in pod vplivom gravitacije padajo na tla. Atomi W se počasi odlagajo v skoznje luknje in jih na koncu zapolnijo, da tvorijo kovinske povezave. Ali se bodo atomi W poleg odlaganja v skoznje luknje odlagali tudi na površino rezine? Da, zagotovo. Na splošno lahko za odstranjevanje uporabite postopek W-CMP, ki mu pravimo postopek mehanskega brušenja. Podobno je uporabi metle za pometanje tal po močnem sneženju. Sneg na tleh se pomete, sneg v luknji pa ostane na tleh. Približno enako.
Čas objave: 24. dec. 2021
