Leta 2018 je svetovni trg elektronskega plina za integrirana vezja dosegel 4,512 milijarde USD, kar je 16-odstotno povečanje v primerjavi z letom prej. Visoka stopnja rasti elektronske industrije posebnega plina za polprevodnike in ogromen trg sta pospešila domači načrt zamenjave elektronskega posebnega plina!
Kaj je elektronski plin?
Elektronski plin se nanaša na osnovni izvorni material, ki se uporablja v proizvodnji polprevodnikov, ploščatih zaslonov, svetlečih diod, sončnih celic in drugih elektronskih izdelkov ter se pogosto uporablja pri čiščenju, jedkanju, oblikovanju filma, dopiranju in drugih procesih. Glavna področja uporabe elektronskega plina so elektronska industrija, sončne celice, mobilne komunikacije, avtomobilske navigacije ter avtomobilski avdio in video sistemi, vesoljska industrija, vojaška industrija in mnoga druga področja.
Elektronski posebni plin lahko razdelimo v sedem kategorij glede na lastno kemijsko sestavo: silicij, arzen, fosfor, bor, kovinski hidrid, halid in kovinski alkoksid. Glede na različne metode uporabe v integriranih vezjih ga lahko razdelimo na plin za dopiranje, plin za epitaksijo, plin za ionsko implantacijo, plin za svetleče diode, plin za jedkanje, plin za nanašanje s kemično paro in plin za izravnavo. V industriji polprevodnikov se uporablja več kot 110 enot posebnih plinov, od katerih se jih več kot 30 običajno uporablja.
Na splošno industrija proizvodnje polprevodnikov pline deli na dve vrsti: navadne pline in posebne pline. Med njimi se običajno uporabljeni plin nanaša na centralizirano oskrbo in uporablja veliko plina, kot so N2, H2, O2, Ar, He itd. Posebni plin se nanaša na nekatere kemične pline, ki se uporabljajo v procesu proizvodnje polprevodnikov, kot je npr. razširitev, vbrizgavanje ionov, mešanje, pranje in oblikovanje maske, kar zdaj imenujemo elektronski posebni plin, kot je SiH4 visoke čistosti, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itd.
V celotnem proizvodnem procesu polprevodniške industrije, od rasti čipa do končne embalaže naprave, je skoraj vsaka povezava neločljiva od elektronskega posebnega plina ter raznolikosti uporabljenega plina in visokih zahtev glede kakovosti, zato ima elektronski plin polprevodniške materiale. “Hrana”.
V zadnjih letih so glavne kitajske elektronske komponente, kot so polprevodniki in zaslonske plošče, povečale nove proizvodne zmogljivosti in obstaja veliko povpraševanje po nadomeščanju uvoza elektronskih kemičnih materialov. Položaj elektronskih plinov v industriji polprevodnikov postaja vse pomembnejši. Domača elektronska plinska industrija bo začela hitro rast.
Elektronski posebni plin ima zelo visoke zahteve glede čistosti, ker če čistost ne ustreza zahtevam, bodo skupine nečistoč, kot sta vodna para in kisik v elektronskem posebnem plinu, zlahka tvorile oksidni film na površini polprevodnika, kar vpliva na življenjska doba elektronskih naprav, elektronski posebni plin pa vsebuje Delci nečistoč lahko povzročijo kratke stike polprevodnikov in poškodbe vezja. Lahko rečemo, da izboljšanje čistosti igra ključno vlogo pri izkoristku in učinkovitosti proizvodnje elektronskih naprav.
Z nenehnim razvojem polprevodniške industrije se proces izdelave čipov še naprej izboljšuje in zdaj je dosegel 5 nm, kar se skoraj približuje meji Moorovega zakona, ki je enako eni dvajsetini premera človeškega lasu ( približno 0,1 mm). Zato to postavlja tudi višje zahteve glede čistosti elektronskega posebnega plina, ki ga proizvajajo polprevodniki.
Čas objave: 15. december 2021
