Leta 2018 je svetovni trg elektronskih plinov za integrirana vezja dosegel 4,512 milijarde ameriških dolarjev, kar je 16-odstotno medletno povečanje. Visoka stopnja rasti industrije elektronskih posebnih plinov za polprevodnike in ogromna velikost trga sta pospešila domači načrt nadomestitve elektronskih posebnih plinov!
Kaj je elektronski plin?
Elektronski plin se nanaša na osnovni izvorni material, ki se uporablja pri proizvodnji polprevodnikov, ravnih zaslonov, svetlečih diod, sončnih celic in drugih elektronskih izdelkov ter se pogosto uporablja pri čiščenju, jedkanju, tvorbi filmov, dopiranju in drugih postopkih. Glavna področja uporabe elektronskega plina vključujejo elektronsko industrijo, sončne celice, mobilne komunikacije, avtomobilsko navigacijo in avtomobilske avdio in video sisteme, vesoljsko industrijo, vojaško industrijo in številna druga področja.
Elektronski posebni plin lahko glede na svojo kemično sestavo razdelimo v sedem kategorij: silicij, arzen, fosfor, bor, kovinski hidrid, halogenid in kovinski alkoksid. Glede na različne načine uporabe v integriranih vezjih ga lahko razdelimo na dopiralni plin, epitaksialni plin, plin za ionsko implantacijo, plin za svetleče diode, jedkalni plin, plin za kemično nanašanje s paro in uravnoteženi plin. V polprevodniški industriji se uporablja več kot 110 posebnih plinov, od katerih se jih več kot 30 uporablja pogosto.
Industrija proizvodnje polprevodnikov na splošno deli pline na dve vrsti: običajne pline in posebne pline. Med njimi se običajno uporablja plin, ki se dobavlja iz centralizirane oskrbe in porabi veliko plina, kot so N2, H2, O2, Ar, He itd. Posebni plin se nanaša na nekatere kemične pline, ki se uporabljajo v procesu proizvodnje polprevodnikov, kot so raztezanje, vbrizgavanje ionov, mešanje, pranje in oblikovanje maske, kar danes imenujemo elektronski posebni plin, kot so visoko čisti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itd.
V celotnem proizvodnem procesu polprevodniške industrije, od rasti čipov do končne embalaže naprav, je skoraj vsaka povezava neločljivo povezana s posebnim elektronskim plinom, raznolikostjo uporabljenega plina in visokimi zahtevami glede kakovosti, zato ima elektronski plin polprevodniške materiale. "Hrana".
V zadnjih letih so se proizvodne zmogljivosti glavnih kitajskih elektronskih komponent, kot so polprevodniki in zasloni, povečale, povpraševanje po nadomeščanju uvoza elektronskih kemičnih materialov pa je močno. V polprevodniški industriji postaja vse bolj pomemben položaj elektronskih plinov. Domača industrija elektronskih plinov bo priča hitri rasti.
Za elektroniko je značilno zelo visoka zahteva glede čistosti, saj če čistost ne ustreza zahtevam, nečistoče, kot sta vodna para in kisik v elektroniki, zlahka tvorijo oksidni film na površini polprevodnika, kar vpliva na življenjsko dobo elektronskih naprav. Nečistoče v elektroniki lahko povzročijo kratke stike in poškodbe tokokrogov. Lahko rečemo, da izboljšanje čistosti igra ključno vlogo pri izkoristku in učinkovitosti proizvodnje elektronskih naprav.
Z nenehnim razvojem polprevodniške industrije se postopek izdelave čipov še naprej izboljšuje in je zdaj dosegel 5 nm, kar se približuje meji Moorovega zakona, ki je enakovredna eni dvajsetini premera človeškega lasu (približno 0,1 mm). Posledično to postavlja tudi višje zahteve glede čistosti elektronskega posebnega plina, ki ga proizvajajo polprevodniki.
Čas objave: 15. dec. 2021
