V letu 2018 je svetovni trg elektronskega plina za integrirana vezja dosegel 4,512 milijarde ameriških dolarjev, kar je bilo medletno za 16%. Visoka stopnja rasti elektronske posebne plinske industrije za polprevodnike in velike velikosti trga so pospešili domači nadomestni načrt elektronskega posebnega plina!
Kaj je elektronski plin?
Elektronski plin se nanaša na osnovni izvorni material, ki se uporablja pri proizvodnji polprevodnikov, zaslonov z ravnimi ploščami, svetlobnimi diodami, sončnimi celicami in drugimi elektronskimi izdelki, in se pogosto uporablja pri čiščenju, jedkanju, tvorbi filmov, dopingu in drugih procesih. Glavna področja uporabe elektronskega plina vključujejo elektronsko industrijo, sončne celice, mobilne komunikacije, avtomobilsko navigacijo in avtomobilske avdio in video sisteme, vesoljsko vesolje, vojaško industrijo in številna druga področja.
Elektronski poseben plin lahko razdelimo v sedem kategorij v skladu z lastno kemično sestavo: silicij, arzen, fosfor, boron, kovinski hidrid, haloge in kovinski alkoksid. Glede na različne metode uporabe v integriranih vezjih ga lahko razdelimo na doping plin, plin epitaksi, ionski implantacijski plin, lahki diodni plin, plin, ki je jedkanica, plin na odlaganje kemičnih hlapov in ravnotežje plina. V polprevodniški industriji se uporablja več kot 110 enotnih posebnih plinov, od katerih se običajno uporablja več kot 30.
Na splošno industrija proizvodnje polprevodnikov deli pline na dve vrsti: skupne pline in posebne pline. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCl, CL2 itd.
V celotnem procesu proizvodnje polprevodniške industrije, od rasti čipov do končne embalaže naprav je skoraj vsaka povezava neločljiva od elektronskega posebnega plina in raznolikosti uporabljenega plina in visoko kakovostnih potreb, zato ima elektronski plin polprevodniške materiale. "Hrana".
V zadnjih letih so se glavne elektronske komponente na Kitajskem, kot so polprevodniki in razstavne plošče, povečale v novi proizvodni zmogljivosti, zato je veliko povpraševanja po nadomestitvi uvoza elektronskih kemičnih materialov. Položaj elektronskih plinov v polprevodniški industriji je postajal vse bolj izrazit. Domača elektronska plinska industrija bo spodbudila hitro rast.
Elektronski poseben plin ima zelo visoke potrebe po čistosti, ker če čistost ni v skladu z zahtevami, bodo skupine nečistoč, kot sta vodna para in kisik v elektronskem posebnem psu, zlahka tvorijo oksidni film na površini polprevodnika, ki vpliva na življenjsko dobo elektronskih naprav, in elektronski posebni plin lahko povzročijo delci nemoči. Lahko rečemo, da ima izboljšanje čistosti ključno vlogo pri donosu in zmogljivosti proizvodnje elektronskih naprav.
Z nenehnim razvojem polprevodniške industrije se proces proizvodnje čipov še naprej izboljšuje, zdaj pa je dosegel 5Nm, ki se bo kmalu približal meja Moorejevega zakona, ki je enakovredna dvajseti premer človeškega las (približno 0,1 mm). Zato to določa tudi višje zahteve na čistost elektronskega posebnega plina, ki ga proizvajajo polprevodniki.
Čas objave: dec-15-2021
