Vodikov kloridje brezbarven plin z ostrim vonjem. Njegova vodna raztopina se imenuje klorovodikova kislina, znana tudi kot klorovodikova kislina. Klorovodik je zelo topen v vodi. Pri 0 °C lahko 1 volumen vode raztopi približno 500 volumnov klorovodika.

Ima naslednje lastnosti in značilnosti:

1. Visoka čistost

Čistost elektronske kakovostivodikov kloridje zelo visoka, običajno na ravni ppm ali nižje, da se zagotovi, da v proces izdelave polprevodnikov ne pride do vnosa nečistoč.

2. Inertnost

Je kemično inerten plin, ki ne reagira s številnimi drugimi snovmi, kar je zelo pomembno za preprečevanje kontaminacije polprevodniških materialov in opreme.

3. Visoka stabilnost

Elektronski razredvodikov kloridima običajno stabilno kemijsko sestavo, ki zagotavlja zanesljivo obdelavo polprevodnikov.

Pri obdelavi polprevodnikov so glavne uporabe vodikovega klorida elektronske kakovosti:

1. Čiščenje in priprava površin

Kot učinkovito čistilo za površine, elektronske kakovostivodikov kloridse uporablja za odstranjevanje oksidov in nečistoč s površine substrata, da se zagotovi kakovost in čistost epitaksialne plasti ali filma.

2. Epitaksialna rastna pomoč

Uporablja se kot sredstvo za površinsko obdelavo v epitaksialnem postopku in pomaga izboljšati kakovost epitaksialne plasti, izboljšati ujemanje mreže in zmanjšati nastanek napak v mreži.

3. Predobdelava podlage

Pred pripravo polprevodniških naprav, elektronske kakovostivodikov kloridse lahko uporabi za obdelavo površine substrata, da se tvori stabilna podlaga za izboljšanje oprijema med epitaksialno plastjo in substratom.

4. Pomožno sredstvo za nanašanje

V procesu kemičnega nanašanja iz pare (CVD) ali fizičnega nanašanja iz pare (PVD) se lahko vodikov klorid elektronske kakovosti uporablja kot medij za prenos plinske faze, ki sodeluje v reakciji nanašanja polprevodniških materialov.

5. Sredstvo za prenos plinske faze

Kot sredstvo za prenos plinske faze se v reakcijsko komoro vnesejo drugi plinasti predhodniki, ki pomagajo prilagoditi hitrost nanašanja in enakomernost materiala.

Zaradi teh lastnosti je elektronski razredvodikov kloridpomembno procesno sredstvo v polprevodniški tehnologiji, ki ima ključni vpliv na delovanje in zanesljivost končne naprave.

Poleg uporabe pri obdelavi polprevodnikov se lahko vodikov klorid elektronske kakovosti uporablja tudi na drugih področjih, vključno z: pripravo visoko čistih materialov, gorivnimi celicami, rastjo polprevodniških materialov, litografijo v parni fazi, analizo materialov in kemijskimi raziskavami.

Na splošno, elektronski razredvodikov kloridje vsestranski plin visoke čistosti, ki ima široko paleto uporab zunaj proizvodnje polprevodnikov.