Vodikov kloridje brezbarven plin z ostrem vonjem. Njegova vodna raztopina se imenuje klorovodikova kislina, znana tudi kot klorovodikova kislina. Vodikov klorid je v vodi zelo topen. Pri 0 ° C lahko 1 volumen vode raztopi približno 500 volumnov vodikovega klorida.

Ima naslednje lastnosti in značilnosti:

1. visoka čistost

Čistost elektronskega razredavodikov kloridje zelo visoka, običajno na PPM ali nižji ravni, da se zagotovi, da se v proces proizvodnje polprevodnikov ne uvajajo nečistoče.

2. inertnost

To je kemično inertni plin, ki ne reagira s številnimi drugimi snovmi, kar je zelo pomembno za preprečevanje kontaminacije polprevodniških materialov in opreme.

3. Visoka stabilnost

Elektronska ocenavodikov kloridNa splošno ima stabilno kemijo, da zagotovi zanesljivo predelavo polprevodnikov.

Pri obdelavi polprevodnikov glavna uporaba elektronskega vodikovega klorida vključuje:

1. čiščenje in priprava površine

Kot učinkovito površinsko čistilo, elektronska ocenavodikov kloridse uporablja za odstranjevanje oksidov in nečistoč s površine substrata, da se zagotovi kakovost in čistost epitaksialne plasti ali filma.

2.epitaksialna pomoč pri rasti

Uporablja se kot površinsko čistilno sredstvo v epitaksialnem procesu in pomaga izboljšati kakovost epitaksialne plasti, izboljšati ujemanje rešetk in zmanjšati nastanek napak pri rešetkah.

3. Predobdelava substrata

Pred pripravo polprevodniških naprav, elektronski razredvodikov kloridLahko se uporablja za zdravljenje površine substrata, da tvori stabilno podlago za izboljšanje oprijema med epitaksialnim slojem in substratom.

4. Pomožni agent za nalaganje

V procesu kemičnega odlaganja hlapov (CVD) ali fizičnega odlaganja hlapov (PVD) se lahko kot medij za prenos plinske faze uporabi elektronski vodikov klorid za sodelovanje pri reakciji nalaganja polprevodniških materialov.

5. Sredstvo za prenos plinske faze

Kot sredstvo za prenos plinske faze se v reakcijsko komoro vnesejo drugi plinasti prekurzorji, da pomagajo prilagoditi hitrost odlaganja in enakomernost materiala.

Te značilnosti naredijo elektronsko ocenovodikov kloridPomembno procesorsko sredstvo v tehnologiji polprevodnikov, ki ključno vpliva na zmogljivost in zanesljivost končne naprave.

Poleg uporabe pri predelavi polprevodnikov lahko elektronski vodikov klorid na drugih področjih najde različne namene, vključno s: pripravo materialov z visoko čistostjo, gorivno celico, rastjo polprevodniških materialov, litografijo varovalne faze, analizo materiala, kemijske raziskave.

Na splošno elektronska ocenavodikov kloridje vsestranski plin z visoko čistostjo, ki ima široko paleto aplikacij zunaj proizvodnje polprevodnikov.