Laserski plin

Laserski plin se uporablja predvsem za lasersko žarjenje in plin za litografijo v elektronski industriji.Zaradi koristi od inovacij zaslonov mobilnih telefonov in širitve področij uporabe se bo obseg trga nizkotemperaturnega polisilicija še razširil, postopek laserskega žarjenja pa je bistveno izboljšal delovanje TFT-jev.Med plini neonom, fluorom in argonom, ki se uporabljajo v laserju ArF excimer za proizvodnjo polprevodnikov, neon predstavlja več kot 96 % mešanice laserskih plinov.Z izpopolnjevanjem polprevodniške tehnologije se je povečala uporaba excimer laserjev, uvedba tehnologije dvojne osvetlitve pa je povzročila močno povečanje povpraševanja po neonskem plinu, ki ga porabijo ArF excimer laserji.Domači proizvajalci bodo imeli koristi od spodbujanja lokalizacije elektronskih posebnih plinov v prihodnosti boljši prostor za rast trga.

Litografski stroj je osnovna oprema za proizvodnjo polprevodnikov.Litografija določa velikost tranzistorjev.Usklajen razvoj verige litografske industrije je ključ do preboja litografskega stroja.Ujemajoči se polprevodniški materiali, kot so fotorezist, fotolitografski plin, fotomaska ​​ter oprema za nanašanje in razvijanje, imajo visoko tehnološko vsebino.Litografski plin je plin, ki ga litografski stroj ustvari z globokim ultravijoličnim laserjem.Različni litografski plini lahko proizvajajo svetlobne vire različnih valovnih dolžin, njihova valovna dolžina pa neposredno vpliva na ločljivost litografskega stroja, ki je eno od jeder litografskega stroja.Leta 2020 bo skupna svetovna prodaja litografskih naprav znašala 413 enot, od tega ASML prodaja 258 enot predstavlja 62 %, Canonova prodaja 122 enot predstavlja 30 % in prodaja Nikona 33 enot predstavlja 8 %.


Čas objave: 15. oktober 2021