BORON TRICHLORIDE (BCL3)je anorganska spojina, ki se običajno uporablja v procesih suhega jedkanja in kemičnega nalaganja hlapov (CVD) v proizvodnji polprevodnikov. Je brezbarven plin z močnim ostrem vonjam pri sobni temperaturi in je občutljiv na vlažen zrak, saj hidrolizira za proizvodnjo klorovodikove in borove kisline.

Aplikacije borovega triklorida

V industriji polprevodnikovBoron trikloridse uporablja predvsem za suho jedkanje aluminija in kot dopant za oblikovanje regij tipa P na silicijevih rezinah. Uporablja se lahko tudi za jedkanje materialov, kot so GAAS, SI, ALN in kot vir bora v določenih posebnih aplikacijah. Poleg tega se borovni triklorid pogosto uporablja pri predelavi kovin, stekleni industriji, kemični analizi in laboratorijskih raziskavah.

Varnost borovega triklorida

Boron trikloridje jedko in strupen in lahko povzroči resne poškodbe oči in kože. Hidrolizira v vlažnem zraku, da sprosti strupeni vodikov kloridni plin. Zato je treba pri ravnanju z ustreznimi varnostnimi ukrepiBoron triklorid, vključno z nošenjem zaščitnih oblačil, očala in opreme za zaščito dihal ter delovanjem v dobro prezračenem okolju.