Borov triklorid (BCl3)je anorganska spojina, ki se pogosto uporablja v postopkih suhega jedkanja in kemičnega nanašanja iz pare (CVD) pri proizvodnji polprevodnikov. Je brezbarven plin z močnim ostrim vonjem pri sobni temperaturi in je občutljiv na vlažen zrak, ker hidrolizira in proizvaja klorovodikovo in borovo kislino.

Uporaba borovega triklorida

V polprevodniški industriji,Borov trikloridUporablja se predvsem za suho jedkanje aluminija in kot dopant za tvorbo regij tipa P na silicijevih rezinah. Uporablja se lahko tudi za jedkanje materialov, kot so GaAs, Si, AlN, in kot vir bora v nekaterih specifičnih aplikacijah. Poleg tega se borov triklorid pogosto uporablja v predelavi kovin, steklarski industriji, kemijskih analizah in laboratorijskih raziskavah.

Varnost borovega triklorida

Borov trikloridje jedka in strupena ter lahko povzroči resne poškodbe oči in kože. V vlažnem zraku hidrolizira in sprošča strupen plin vodikov klorid. Zato je treba pri ravnanju z njim sprejeti ustrezne varnostne ukrepe.Borov triklorid, vključno z nošenjem zaščitnih oblačil, zaščitnih očal in opreme za zaščito dihal ter delom v dobro prezračevanem okolju.